pù guāng qū yù · ㄆㄨˋ ㄍㄨㄤ ㄑㄩ ㄩˋ
数据更新：2026-07-12 04:55:42
在光刻工艺中，光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。
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